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新產品特輯-平行密封型門閥XGTP系列
更新時間：2018-04-11   點擊次數：1627次

SMC推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產品采用平行密封結構，可對應300mm晶圓。適用于半導體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。

???◇ 長壽命：300萬次（常溫時）

???◇ 低發塵：發塵量減少到1/5以下（與舊型號相比）

???◇ 省氣：耗氣量減少22%

???◇ 輕量：14kg（盒式）

???◇ 工作窗尺寸：50mm X 336mm

 

▼門上升、下降的直線動作和門開閉的夾緊采用平行密封（L motion）構造，降低了摩擦系數，可大幅減少發塵量并延長使用壽命。

▼半導體加工過程中，針對各工藝腔室之間的隔離。

上海維特銳實業發展有限公司主營進口品牌氣動液壓儀器儀表類產品，如需詳細了解請點擊：SMC系列產品

上海維特銳實業發展有限公司

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