更新時間:2025-07-09
KOGANEI小金井FPD用電動CT泵在要求均一涂膜的液晶、PDP、有機EL等基板用涂膠對應電動泵。高信賴的CT泵構造更加進化、能夠控制定流量。Z大吐出量:30ml、60ml、100ml、200ml、可以根據顧客基板的尺寸結合用途選擇泵。
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KOGANEI小金井FPD用電動CT泵
小金井FPD用電動CT泵詳細分析報告
一、產品概述
小金井FPD用電動CT泵是日本KOGANEI(小金井)公司專為平板顯示器(FPD)制造設計的精密泵,主要用于液晶(LCD)、等離子顯示板(PDP)、有機EL等基板用狹縫涂布機中,實現光刻膠、純水及藥液的高精度均勻涂抹。其核心優勢在于:
高精度定量吐出:通過步進電機驅動,實現流量精準控制,吐出量重復精度達±1% F.S.。
低發塵與除泡性:接液部采用氟樹脂(PTFE)材料,無滑動結構,減少粒子產生,適合無塵環境。
結構簡單可靠:無需日常維護,適用于半導體晶片微細化工藝。
二、技術參數
參數規格
類型電動CT泵(F-EPT系列),如F-EPT30型、F-EPT60型等
最大吐出量30ml、60ml、100ml、200ml、300ml(可根據基板尺寸選擇)
最大吐出壓力0.05MPa至0.15MPa(具體取決于型號)
吐出量精度±1% F.S.(滿量程)
使用流體光刻膠、純水、藥液(不可燃性物質)
驅動方式步進電機驅動,配套控制器單元實現流量控制
接液部材料氟樹脂(PTFE),耐腐蝕且低發塵
三、應用場景
FPD制造核心工藝
狹縫涂布機:用于基板表面光刻膠的均勻涂抹,確保涂膜厚度一致性。
微細化半導體晶片:適配下一代半導體工藝,滿足高精度流體控制需求。
環境要求
潔凈室環境:需在無塵車間使用,避免塵埃污染影響涂布質量。
流體限制:嚴禁使用可燃性物質,防止安全隱患。
KOGANEI小金井FPD用電動CT泵